ITO ( ITO 銦錫酸化物透明導電層)

各種基板での成膜実績があり、例えばガラス（4”～12”）、ブルーガラス、ＧaAs、シリコンウエハー（8”/12”）。

ビックサイズのガラス/シリコンウエハーのハンドリング、反り、外観、均一性に対して顧客様に厳しく要求されることに対応できるため、12”ガラスと8”シリコンウエハー成膜が量産している。主に車載、生体認証向けである。基板にパターンを作る必要があれば、リフトオフ協力会社と連携して対応する。

 

 1. ITO+リフトオフ：3Ｄセンシング回路を保護する蒸着である。

 2. 導電層応用：車載向け（EX: Lidar)、WSS、可視光HUD。

 

 

 

IMITO (インデックスマッチングITO高透過率ITOガラスス)

LCOSに応用するガラスで、液晶と合わせることで透過率及び導電性を上げさせる素子である。

 

 

 

特殊LCoS(Liquid Crystal on Silicon)素子蒸着

LCoS (Liquid Crystal on Silicon)

LCoSはシリコン上の液晶である。シリコンウエハにトランジタを培う。半導体製造プロセスを使用してパネル駆動(CMOS-LCDとも言われている)を製作して、そしてトランジタは研磨技術で平たくしてやすりをコートして反射鏡としてCMOS基板になさせる。研磨CMOS基板を形成した後、透明電極ペースト前にガラス基板（ITO導電性ガラス）を貼り合せて液晶を入れて閉じるテストをする。シリコン上の液晶は上だけガラスを使用、底の基板は主に半導体材料シリコンを使われている。LCOS工程は液晶モニターとCMOSプロセスを組み合わせた技術である。