ITO ( ITO 銦錫氧化物透明導電層)

我們在成膜於各類型基板上有豐富經驗,例如: 玻璃(尺寸: 4”~12”)、藍玻璃、砷化鎵、矽晶圓(8”/12”)。

除了提升基板的穿透率,大尺吋玻璃/矽晶圓的拿取、翹曲、外觀、均勻性皆能達到客戶要求的高標準。 12”的玻璃和8”的矽晶圓鍍膜,也持續量產中。主要客戶群為車用、生物識別。 
同時也有合作廠商,可以結合鍍膜+lift off

1、ITO+lift off,保護電路,3D感測裡保護電路的鍍膜,以免功率過高,造成傷害。
2、導電層應用:
    車載EX:Lidar
    WSS
    可見光HUD

 

 

IMITO (Index matched ITO高透光率ITO玻璃)

用於LCOS的玻璃元件,可以跟液晶結合並增加穿透率與導電的元件。

 

 

 

特殊LCoS (Liquid Crystal on Silicon)元件鍍膜

LCoS (Liquid Crystal on Silicon)

即液晶覆矽,是在矽晶圓上長電晶體,利用半導體製程製作驅動面板(又稱為CMOS -LCD),然後在電晶體上透過研磨技術磨平,並鍍上鋁當作反射鏡,形成CMOS基板,然後將CMOS基板與含有透明電極之前玻璃基板(ITO導電玻璃)貼合,再抽入液晶,進行封裝測試。液晶覆矽僅有上面採用玻璃,底下的基板是以半導體材料矽為主,因此LCOS製程其實是結合液晶顯示器(LCD)與互補式金屬氧化物半導體(CMOS)製程的技術。