無塵室面積

項目

維護

Fab總面積：
1,100坪

Class-100面積：
497坪

氣流型態：垂直層流式
VLF ( vertical laminar flow )

過濾網材：高效能微粒子過濾器
HEPA( high- efficiency particulate attenuation )

庫板：PU庫板

每年檢查或更新
( 以量測值判定較為準確，Ex：壓差、出風量、濾材破損情形等 )

環境溫度 : 23±1℃

環境濕度：45±3％

Fed-Std-209E
Class name

Class Limits

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm

Volume units

Volume units

Volume units

Volume units

Volume units

SI

English

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M1.5

1

1240

35

265

7.5

106

3

35.3

1

-

-

M2.5

10

12,400

350

2,650

75

1,060

30

353

10

-

-

M3.5

100

-

-

26,500

750

10,600

300

3,530

100

-

-

M4.5

1,0000

-

-

-

-

-

-

35,300

1,000

247

7

M5.5

10,000

-

-

-

-

-

-

353,000

10,000

2,470

70

M6.5

100,000

-

-

-

-

-

-

3,530,000

100,000

24,700

700

ISO 14644：Maximum concertration limits (particle/m3 of air) particle equal to and larger than the considered sizes shown below

Classification
Numbers(N)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5.0μm

ISO Class 1

10

2

-

-

-

-

ISO Class 2

100

24

10

4

-

-

ISO Class 3

1,000

237

102

35

8

-

ISO Class 4

10,000

2,370

1,020

352

32

-

ISO Class 5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO Class 6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO Class 7

-

-

-

352,000

83,200

2,930

ISO Class 8

-

-

-

3,520,000

832,000

29,300

ISO Class 9

-

-

-

35,200,000

8,320,000

293,000

各種方式無塵室FFU系統架構說明與比較

項目

亂流方式

水平層流方式

垂直層流方式

潔淨隧道方式

潔淨管道方式

局部潔淨方式

潔淨度

1,000~100,000

10~1,000

1~100

1~100

1~100

100~1,000

換氣次數
(次/小時)

20~70

100~300

300~500

300~500

100~400

100~300

送風速度
(m/s)

0.1~0.3

0.25~0.5

0.25~0.45

0.3~0.5

0.35~0.5

0.25~0.45

壓差值(mmH2O)

0.5~1.0

1.0~2.0

1.0~2.5

0.5~1.0

1.0~2.5

0.5~1.5

建造成本

小

大

最大

大

中

最小

維護費用

小

大

最大

大

小

最小

升級能力

難

容易

難

容易

難

稍難

維修難易

中

中

容易

容易

難

中

噪音度

小

大

最大

大

中

中